Литографы в Китае в XXI веке

Материал из Documentation.

Перейти к: навигация, поиск



[править] Производство

По состоянию на 2022 года главным (и единственным достоверно известным) производителем литографического оборудования в Китае была компания Shanghai Microelectronics Equipment, из представленной на сайте продукции наиболее совершенным литографом была 90 нм модель SSA600/20.[1]

Личные инструменты