Литографы в Китае в XXI веке
Материал из Documentation.
[править] Производство
По состоянию на 2022 года главным (и единственным достоверно известным) производителем литографического оборудования в Китае была компания Shanghai Microelectronics Equipment, из представленной на сайте продукции наиболее совершенным литографом была 90 нм модель SSA600/20.[1]